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詳細介紹
SMC真空無桿氣缸安裝圖解
氣缸介紹：
閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4。
返回時一次性全部引入供氣壓力（清潔空氣/ N2）真空室與大氣會導致顆粒進入室。
為了防止這種情況，緩慢引入初始空氣供應和設置壓力，切換到主閥回路供應全量。
(閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數量大幅降低。
伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整。
緩沖效果（平穩啟動，軟停止）僅在行程范圍內的行程結束之前應用如下表所示。
緩沖作用（平穩啟動，軟停止）不可用于中間停止或從中返回使用外部塞子的中間停止等
在考慮上述信息的情況下使用中間站時，請執行措施以防止顆粒物產生并將操作壓力設定為不過0.3MPa。
連接方法：
由于氣缸可以安裝在真空中它有助于簡化和減少傳輸系統的大小。
沒有微粒生成由于摩擦，自建不允許缸筒的外表面和滑臺的內表面
從線性粒子生成導向裝置隨使用而減少的不銹鋼直線導軌和低微粒產生真空脂
采用擠出成型的特殊缸筒采用鋁材料。
沒有偏轉或接觸發生長時間行程，因為氣缸是剛性地附著在基地和幻燈片是獨立支持的由一個線性指南。
微粒生成已經減少了該行程通過減少結束使用a的影響正弦緩沖和通過停止中風使用內部塞子。
在垂直操作中使用時，防止發生工件因斷裂而掉落應考慮磁耦合。該允許的負載質量和zui大運行壓力應該如表中所示下面。
SMC真空無桿氣缸安裝圖解
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